Journal de Physique IV

EXCIMER-LASER-INDUCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF COPPER FILMS FROM COPPER TRIFLUOROACETYLACETONATE

E.N. ANTONOV, V.N. BAGRATASHVILI, O.V. FATEEV et V.A. SEMCHISHEN

J. Phys. IV France, 01 C7 (1991) C7-671

DOI: 10.1051/jp4:19917179

E.N. ANTONOV

V.N. BAGRATASHVILI

O.V. FATEEV

V.A. SEMCHISHEN

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