Journal de Physique IV

CONDITIONS FOR OBTAINING IN-SITU PHOSPHORUS DOPED LPCVD POLYSILICON LAYERS WITH HIGH CONDUCTIVITY ONTO GLASS SUBSTRATES

M. SARRET, A. LIBA, O. BONNAUD, M. MOKHTARI et B. FORTIN

J. Phys. IV France, 02 C2 (1991) C2-817-C2-822

DOI: 10.1051/jp4:1991296

M. SARRET

A. LIBA

O. BONNAUD

M. MOKHTARI

B. FORTIN

articles ayant parmi leurs auteurs TOUS les auteurs sélectionnés (ET)

articles ayant parmi leurs auteurs AU MOINS un auteur identique à ceux sélectionnés (OU)