Journal de Physique IV

GRAIN REFINEMENT OF CVD TiC LAYERS BY AlCl₃, ZrCl₄ AND BCl₃ IMPURITIES

A. OSADA, M. DANZINGER, R. HAUBNER et B. LUX

J. Phys. IV France, 02 C2 (1991) C2-557-C2-562

DOI: 10.1051/jp4:1991266

A. OSADA

M. DANZINGER

R. HAUBNER

B. LUX

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