Journal de Physique IV

INFLUENCE OF EXCITATION FREQUENCY ON ORIENTED (10(-1)0) GROWTH OF ALUMINIUM NITRIDE THIN FILMS BY PECVD

N. AZEMA, J. DURAND, R. BERJOAN, J.L. BALLADORE et L. COT

J. Phys. IV France, 02 C2 (1991) C2-405-C2-412

DOI: 10.1051/jp4:1991249

N. AZEMA

J. DURAND

R. BERJOAN

J.L. BALLADORE

L. COT

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