Journal de Physique IV

MECHANISM OF STEP COVERAGE FORMATION OF SiO₂ FILMS FROM TEOS AND EFFECTS OF GAS PHASE ADDITIVES STUDIED BY MICRO/MACROCAVITY METHOD

Y. EGASHIRA, T. SORITA, S. SHIGA, K. IKUTA et H. KOMIYAMA

J. Phys. IV France, 02 C2 (1991) C2-55-C2-61

DOI: 10.1051/jp4:1991206

Y. EGASHIRA

T. SORITA

S. SHIGA

K. IKUTA

H. KOMIYAMA

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