Exporter cette référence

Deposition of Oxide Layers by Computer Controlled"Injection-LPCVD"

F. Felten, J. P. Senateur, F. Weiss, R. Madar et A. Abrutis

J. Phys. IV France, 05 C5 (1995) C5-1079-C5-1086

DOI: https://doi.org/10.1051/jphyscol:19955127

Retour à l'article