Development of EUV light source by laser-produced plasma
Y. Izawa, N. Miyanaga, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Aota, Y. Tao, S. Uchida, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Nishihara, M. Murakami, A. Sunahara, H. Furukawa, A. Sasaki, W. Nishikawa, H. Tanuma, T. Norimatsu, K. Nagai, Q. Gu, M. Nakatsuka, H. Fujita, K. Tsubakimoto, H. Yoshida et K. Mima
J. Phys. IV France, 133 (2006) 1161-1165
DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:2006133237
