Le projet français PREUVE, projet d'études et de développement pour la lithographie extrême ultraviolet P. Boher, V. Paret, J.-Y. Robic, R. Marmoret, M. Schmidt, C. Cachoncinlle, R. Geyl, J.-J. Fermé, B. Vidal et J.-M. BarbicheJ. Phys. IV France, 108 (2003) 217-225DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:20030631
