Caractérisation par émission X de films de carbone et de nitrure de carbone déposés par PVD J. Baborowski, M. Charbonnier et M. RomandJ. Phys. IV France, 08 PR5 (1998) Pr5-279-Pr5-286DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:1998535
