Apport des techniques XRFS et LEEIXS à l'étude de la formation de films de silice sur acier par PACVD N. Bahlawane, M. Charbonnier et M. RomandJ. Phys. IV France, 08 PR5 (1998) Pr5-271-Pr5-278DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:1998534