Caractérisation par émission X de films d'oxyde et d'oxynitrure de chrome déposés par pulvérisation magnétron réactive J. Baborowski, M. Charbonnier et M. RomandJ. Phys. IV France, 06 C4 (1996) C4-429-C4-439DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:1996439