Propriétés des couches de ZrO2 et de HfO2 obtenues par évaporation thermique réactive F. TCHELIEBOU, A. BOYER et J. P. CHERONJ. Phys. IV France, 03 C7 (1993) C7-1003-C7-1006DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:19937156
