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INVESTIGATION OF ELECTRICAL PROPERTY INHOMOGENEITIES FORMED BY PLASMA ETCHING

I. E. BONDARENKO, S. V. KOVESHNIKOV, E. B. YAKIMOV et N. A. YARYKIN

J. Phys. IV France, 01 C6 (1991) C6-217-C6-222

DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:1991633

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