NEW OMCVD PRECURSORS FOR SELECTIVE COPPER METALLIZATION J. A.T. NORMAN, B. A. MURATORE, P. N. DYER, D. A. ROBERTS et A. K. HOCHBERGJ. Phys. IV France, 02 C2 (1991) C2-271-C2-278DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:1991233
