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Infrared Spectroscopic Study of Decomposition of Ti(N(CH[sub 3])[sub 2])[sub 4]
Joost P. A. M. Driessen, Joop Schoonman and Klavs F. Jensen Journal of The Electrochemical Society 148(3) G178 (2001) https://doi.org/10.1149/1.1350687
Preparation of thin copper films from the vapour phase of volatile copper(I) and copper(II) derivatives by the CVD method
Gas-phase chemistry in up-scaled plasma enhanced metal-organic chemical-vapor deposition of TiN and Ti(C, N) on tool steel
J. P. A. M. Driessen, A. D. Kuypers and J. Schoonman Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 18(4) 1971 (2000) https://doi.org/10.1116/1.582456
A mass-spectroscopical study of the decomposition of Ti(NMe2)4 in a mixed Ar–H2–N2 pulsed d.c. plasma