EDP Sciences logo
Authentification abonné
Rechercher
Menu

Article cité par

La fonctionnalité Article cité par… liste les citations d'un article. Ces citations proviennent de la base de données des articles de EDP Sciences, ainsi que des bases de données d'autres éditeurs participant au programme CrossRef Cited-by Linking Program. Vous pouvez définir une alerte courriel pour être prévenu de la parution d'un nouvel article citant " cet article (voir sur la page du résumé de l'article le menu à droite).

Article cité :

Infrared Spectroscopic Study of Decomposition of Ti(N(CH[sub 3])[sub 2])[sub 4]

Joost P. A. M. Driessen, Joop Schoonman and Klavs F. Jensen
Journal of The Electrochemical Society 148 (3) G178 (2001)
https://doi.org/10.1149/1.1350687

Preparation of thin copper films from the vapour phase of volatile copper(I) and copper(II) derivatives by the CVD method

Vladimir N Vertoprakhov and Sergey A Krupoder
Russian Chemical Reviews 69 (12) 1057 (2000)
https://doi.org/10.1070/RC2000v069n12ABEH000572

Gas-phase chemistry in up-scaled plasma enhanced metal-organic chemical-vapor deposition of TiN and Ti(C, N) on tool steel

J. P. A. M. Driessen, A. D. Kuypers and J. Schoonman
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 18 (4) 1971 (2000)
https://doi.org/10.1116/1.582456

A mass-spectroscopical study of the decomposition of Ti(NMe2)4 in a mixed Ar–H2–N2 pulsed d.c. plasma

J.P.A.M. Driessen, A.D. Kuypers and J. Schoonman
Surface and Coatings Technology 110 (3) 173 (1998)
https://doi.org/10.1016/S0257-8972(98)00696-3

Mécanisme de décomposition des composés M(NEt) (M = V, Cr) lors de leur utilisation comme mono-source pour la croissance de films M-C-N par MOCVD

P BONNEFOND, R FEURER, F MAURY, et al.
Annales de Chimie Science des Matériaux 23 (5-6) 667 (1998)
https://doi.org/10.1016/S0151-9107(99)80015-4

Effects of intermediate zinc pulses on properties of TiN and NbN films deposited by atomic layer epitaxy

Mikko Ritala, Timo Asikainen, Markku Leskelä, et al.
Applied Surface Science 120 (3-4) 199 (1997)
https://doi.org/10.1016/S0169-4332(97)00387-5