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Article cité :

Remote PECVD : a Route to Controllable Plasma Deposition

S.E. Alexandrov

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Citations de cet article :

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Pepen Arifin, Heri Sutanto, Agus Subagio, Sugianto Sugianto and Muhammad A. Mustajab
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Plasma synthesis of photocatalytic TiOxthin films

L Sirghi
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Selective growth, characterization, and field emission performance of single-walled and few-walled carbon nanotubes by plasma enhanced chemical vapor deposition

Mihnea Ioan Ionescu, Yong Zhang, Ruying Li and Xueliang Sun
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https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2011.09.065