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Increasing the sensitivity of chemically resistant lossy mode resonance-based sensors on Al2O3 coatings

D.P. Sudas, V.A. Jitov, G.G. Yakushcheva and P.I. Kuznetsov
Optical Materials 149 115031 (2024)
https://doi.org/10.1016/j.optmat.2024.115031

CVD‐Fabricated Aluminum Oxide Coatings from Aluminum tri‐iso‐propoxide: Correlation Between Processing Conditions and Composition

A. N. Gleizes, C. Vahlas, M.‐M. Sovar, D. Samélor and M.‐C. Lafont
Chemical Vapor Deposition 13 (1) 23 (2007)
https://doi.org/10.1002/cvde.200606532

Atomic Layer Deposition of Al[sub 2]O[sub 3] Thin Films Using Trimethylaluminum and Isopropyl Alcohol

Woo-Seok Jeon, Sung Yang, Choon-soo Lee and Sang-Won Kang
Journal of The Electrochemical Society 149 (6) C306 (2002)
https://doi.org/10.1149/1.1470659