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The Effect of Film Thickness on the Suitability of Titanium Oxynitride (TiNxOy, x + y = 1) Films as Heat Mirrors – Formed by the Atmospheric Pressure CVD of TiCl4 and NH3
Binary and ternary NiTi-based shape memory films deposited by simultaneous sputter deposition from elemental targets
S. Sanjabi, Y. Z. Cao, S. K. Sadrnezhaad and Z. H. Barber Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 23(5) 1425 (2005) https://doi.org/10.1116/1.2011404
The composition and structure of TiNi thin film formed by electron beam evaporation