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Article cité :

Target fabrication of low-density and nanoporous materials to generate extreme ultraviolet (EUV)

K. Nagai, Q.-C. Gu, Y. Yasuda, M. Nagata, T. Norimatsu, H. Nishimura, S. Fujioka, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura

J. Phys. IV France, 133 (2006) 875-880

Publié en ligne : 2006-06-16

DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:2006133176

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Citations de cet article :

Oriented and low‐density tin dioxide film by sol–gel mineralizing tin‐contained hydroxypropyl cellulose lyotropic liquid crystal for laser‐induced extreme ultraviolet emission

Keiji Nagai, Qincui Gu, Yuzuri Yasuda, et al.
Journal of Polymer Science Part A: Polymer Chemistry 47 (18) 4566 (2009)
https://doi.org/10.1002/pola.23509