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Local anodic oxidation by AFM tip developed for novel semiconductor nanodevices

Vladimír Cambel, Jozef Martaus, Ján Šoltýs, Robert Kúdela and Dagmar Gregušová
Ultramicroscopy 108 (10) 1021 (2008)
https://doi.org/10.1016/j.ultramic.2008.04.032

AFM nanooxidation process – Technology perspective for mesoscopic structures

V. Cambel, J. Martaus, J. Šoltýs, R. Kúdela and D. Gregušová
Surface Science 601 (13) 2717 (2007)
https://doi.org/10.1016/j.susc.2006.12.058