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3D Nanostructuring of hydrogen silsesquioxane resist by 100 keV electron beam lithography
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Diffractive and refractive X-ray optics for microanalysis applications
C. David, T. Weitkamp, B. Nöhammer and J.F. van der Veen Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy 59(10-11) 1505 (2004) https://doi.org/10.1016/j.sab.2004.03.019