Effect of double-layers formation on the deposition of microcrystalline silicon films in hydrogen diluted silane discharges
J. Phys. IV France, 11 PR3 (2001) Pr3-779-Pr3-785
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Plasma-aided fabrication in Si-based photovoltaic applications: an overview
S Q Xiao and S XuJournal of Physics D: Applied Physics 44 (17) 174033 (2011)
https://doi.org/10.1088/0022-3727/44/17/174033