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Growth of BON thin films by plasma assisted MOCVD and study of deposition parameter effects on the film structure

G.C. Chen, M.C. Kim, T.H. Kim, S.-B. Lee, J.-H. Boo

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Citations de cet article :

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Oxidation of BON and Si-DLC thin films

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Structures and properties of BON and multilayered TiN/BON thin films prepared by PAMOCVD method

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Surface and Coatings Technology 163-164 318 (2003)
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