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Article cité :

Structural and morphological changes in low temperature annealed LPCVD Si layers

B. Cobianu, M. Modreanu, M. Danila, R. Gavrila, M . Bercu, M. Gartner

J. Phys. IV France, 11 PR3 (2001) Pr3-315-Pr3-323

DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:2001340

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Citations de cet article :

Optical properties of silicon thin films related to LPCVD growth condition

M. Modreanu, M. Gartner, C. Cobianu, B. O'Looney and F. Murphy
Thin Solid Films 450 (1) 105 (2004)
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2003.10.047

M. Danila, E. Manea, R. Muller and R. Gavrila
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https://doi.org/10.1109/SMICND.2002.1105809

M. Modreanu, M. Gartner, C. Cobianu and E. Manea
2 287 (2002)
https://doi.org/10.1109/SMICND.2002.1105851

Investigation on preparation and physical properties of LPCVD SixOyNz thin films and nanocrystalline Si/SixOyNz superlattices for Si-based light emitting devices

M Modreanu, Mariuca Gartner and Dana Cristea
Materials Science and Engineering: C 19 (1-2) 225 (2002)
https://doi.org/10.1016/S0928-4931(01)00471-4