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Multi-Scale Analysis and Elementary Reaction Simulation of SiC-CVD Using CH3SiCl3/H2
Yasuyuki Fukushima, Noboru Sato, Yuichi Funato, et al. ECS Journal of Solid State Science and Technology 2(11) P492 (2013) https://doi.org/10.1149/2.039311jss
Understanding the CVD process of (Si)–B–C ceramics through FTIR spectroscopy gas phase analysis