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Films de nitrure de carbone obtenus par ablation laser ArF du graphite en atmosphère d'azote. Corrélation entre l'émission du plasma et la composition du dépôt

C. Fuchs, R. Henck, E. Fogarassy, J. Hommet, F. Le Normand

J. Phys. IV France, 09 PR5 (1999) Pr5-145-Pr5-146

DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:1999544

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Citations de cet article :

Comparison of the processes induced by nitrogen dilution on the photodissociation of silane and disilane at 193 nm

B. Aka and E. Boch
Journal of Photochemistry and Photobiology A: Chemistry 150 (1-3) 257 (2002)
https://doi.org/10.1016/S1010-6030(01)00660-8

XPS study of pulsed laser deposited CN_{x} films

F. Le Normand, J. Hommet, T. Szörényi, C. Fuchs, and E. Fogarassy
Physical Review B 64 (23) 235416 (2001)
https://doi.org/10.1103/PhysRevB.64.235416