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Article cité :

Stress-Optimised Shape Memory Devices for the Use in Microvalves

K.D. Skrobanek, M. Kohl, S. Miyazaki

J. Phys. IV France, 07 C5 (1997) C5-597-C5-602

DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:1997594

PDF (2.231 MB)

Citations de cet article :

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Shape memory alloy thin films and heterostructures for MEMS applications: A review

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Thin film shape memory microvalves with adjustable operation temperature

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