Article cité par

La fonctionnalité Article cité par… liste les citations d'un article. Ces citations proviennent de la base de données des articles de EDP Sciences, ainsi que des bases de données d'autres éditeurs participant au programme CrossRef Cited-by Linking Program. Vous pouvez définir une alerte courriel pour être prévenu de la parution d'un nouvel article citant " cet article (voir sur la page du résumé de l'article le menu à droite).

Article cité :

Controlled dissolution of quartz material.Part II. Quartz chemical etching applied to blanks industrial manufacturing

O. CAMBON, M. DELEUZE, J.P. MICHEL, J.P. AUBRY, A. GOIFFON, E. PHILIPPOT

J. Phys. IV France, 04 C2 (1994) C2-85-C2-91

DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:1994211

PDF (759.3 KB)

Citations de cet article :

Etching of quartz crystals in liquid phase environment: A review

Yide Dong, Yike Zhou, Haizhou Huang, Bosong Zhang, Xihan Li, Kaiwen Chen, Litao Sun and Guangbin Dou
Nanotechnology and Precision Engineering 7 (2) (2024)
https://doi.org/10.1063/10.0025651

Convex corner undercutting of {100} silicon in anisotropic KOH etching: the new step-flow model of 3-D structuring and first simulation results

H. Schroder, E. Obermeier, A. Horn and G.K.M. Wachutka
Journal of Microelectromechanical Systems 10 (1) 88 (2001)
https://doi.org/10.1109/84.911096

A new model for Si{100}convex corner undercutting in anisotropic KOH etching

H Schröder and E Obermeier
Journal of Micromechanics and Microengineering 10 (2) 163 (2000)
https://doi.org/10.1088/0960-1317/10/2/311