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Mécanisme de décomposition des composés M(NEt) (M = V, Cr) lors de leur utilisation comme mono-source pour la croissance de films M-C-N par MOCVD

P BONNEFOND, R FEURER, F MAURY, et al.
Annales de Chimie Science des Matériaux 23 (5-6) 667 (1998)
https://doi.org/10.1016/S0151-9107(99)80015-4