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Article cité :

OPTIMUM PROCESS CONDITIONS FOR STABLE AND EFFECTIVE OPERATION OF A FLUIDIZED BED CVD REACTOR FOR POLYCRYSTALLINE SILICON PRODUCTION

T. KOJIMA, O. MORISAWA

J. Phys. IV France, 02 C2 (1991) C2-475-C2-482

DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:1991258

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Citations de cet article :

Modeling of Silicon CVD into Agglomerates of Sub‐micrometer‐size Particles in a Fluidized Bed

Nicolas Reuge and Brigitte Caussat
Chemical Vapor Deposition 17 (10-12) 305 (2011)
https://doi.org/10.1002/cvde.201106888

Influence des principaux paramètres opératoires sur le dépôt de silicium à partir de silane par CVD en lit fluidisé en vue de limiter les problèmes d'agglomération

J. Rodriguez Ramiro Ruvalcaba, Brigitte Caussat, Merhdji Hemati and Jean‐Pierre Couderc
The Canadian Journal of Chemical Engineering 78 (5) 955 (2000)
https://doi.org/10.1002/cjce.5450780513