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Article cité :

AN UNDERSTANDING OF IN SITU BORON DOPED POLYSILICON FILMS BY CHARACTERIZATION AND SIMULATION

C. AZZARO, E. SCHEID, D. BIELLE-DASPET, P. DUVERNEUIL, P. BOUDRE

J. Phys. IV France, 02 C2 (1991) C2-79-C2-85

DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:1991209

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Citations de cet article :

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