Collisionless electron heating in microwave discharges

Abstract
The problems of collisionless electron heating in microwave discharges are treated under conditions when the electron mean free path is larger than the characteristic space scale of the electric field. In this connection the problem of the so called "collisionless energy dissipation" is discussed. The quasilinear method of kinetic description of a weakly ionized plasma is presented giving the possiblity to take into account collisionless electron heating effects. The cases of inductively and capacitively coupled plasmas are considered. The quasilinear theory of plasma heating is generalized to the case of spatially nonuniform plasmas.

Résumé
Les problèmes d'un chauffage d'électrons sans collisions dans les décharges micro-ondes sont considérés à des conditions où le trajet moyen libre des électrons est plus grand que la distance charactéristique dans laquelle le champ électrique change. Dans ce contexte le problème de la soi-disant "dissipation d'énergie sans collisions»"est discuté. La méthode quasilinéaire utilisée pour décrire la cinétique des électrons dans un plasma peu ionisé est représentée ce qui rend possible de regarder les effets du chauffage des électrons sans collisions. Les cas des plasmas couplés inductivement et capacitivement sont considérés. La théorie quasilinéaire du chauffage du plasma est regardée d'une manière générale de sorte qu'elle soit applicable à des plasmas non-uniformes dans l'espace.