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Numéro
J. Phys. IV France
Volume 138, December 2006
Page(s) 237 - 244
DOI http://dx.doi.org/10.1051/jp4:2006138027
Publié en ligne 6 janvier 2007
8e Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et X : Applications et développements récents
R. Moncorgé et J.L. Doualan
J. Phys. IV France 138 (2006) 237-244

DOI: 10.1051/jp4:2006138027

Optiques multicouches EUV

J. Gautier1, F. Delmotte1, F. Bridou1, M. Rouillay2, F. Varniere1, S. de Rossi1 and A. Jerome1, 1

1  Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique, CNRS-UMR 8501, Bât. 503, Centre Scientifique d'Orsay, 91403 Orsay, France
2  LIXAM, Bât. 350, Université Paris Sud, 91405 Orsay, France


(Publié en ligne le 6 janvier 2007)

Résumé
L'élaboration de nouveaux revêtements interférentiels multicouches est motivée par la demande de l'astrophysique solaire et par le développement de nouvelles sources de rayonnement EUV (source à génération d'harmoniques d'ordre élevé, laser X, rayonnement synchrotron). Nous avons étudié et développé différents systèmes multicouches possédant à la fois des propriétés optiques optimisées (réflectivité et/ou bande passante) et une bonne stabilité temporelle et thermique pour la gamme de longueurs d'onde comprise entre $\lambda = 30$ nm et $\lambda =
50$ nm. Une augmentation significative de la réflectivité des multicouches dans la gamme spectrale de 30 à 40 nm a été obtenue par l'addition d'un troisième matériau dans l'empilement. Une étude comparative des courbes de réflectivités théorique et expérimentale en fonction de la longueur d'onde a été menée. Les différences observées ont pu être expliquées notamment à l'aide de l'analyse des propriétés physiques des différents matériaux en couche mince. Nous montrons également que l'utilisation de ces multicouches à trois matériaux par période permet le développement d'empilements répondant à des demandes spécifiques (miroirs à large bande passante, miroirs à double bande). Pour les longueurs d'ondes comprises entre 35 nm et 50 nm nous avons développé des multicouches à base de scandium. Cette étude a permis d'obtenir des multicouches avec de forts pouvoirs réflecteurs et une bonne stabilité temporelle. La stabilité de ces empilements a pu être améliorée à l'aide de l'insertion aux interfaces de couches barrières.



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