Accès gratuit
Numéro
J. Phys. IV France
Volume 138, December 2006
Page(s) 231 - 236
DOI http://dx.doi.org/10.1051/jp4:2006138026
Publié en ligne 6 janvier 2007
8e Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et X : Applications et développements récents
R. Moncorgé et J.L. Doualan
J. Phys. IV France 138 (2006) 231-236

DOI: 10.1051/jp4:2006138026

Métrologie d'indice par interférométrie EUV

S. de Rossi, D. Joyeux, F. Delmotte and B. Ea-Kim

Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique, Campus de Polytechnique, RD 128, 91127 Palaiseau, France


(Publié en ligne le 6 janvier 2007)

Résumé
Nous décrivons la détermination directe des indices de matériaux en fonction de la longueur d'onde par interférométrie dans la gamme spectrale EUV (10-50 nm). L'interféromètre de type division de front d'onde est un bimiroir de Fresnel. Le principe consiste à mesurer le décalage des franges entre le côté de l'interférogramme qui a vu l'échantillon et le côté référence sans échantillon. Une analyse de Fourier permet d'extraire l'épaisseur optique du matériau. Nous présentons les premiers résultats de la mesure d'indice du molybdène avec l'instrument réalisé.



© EDP Sciences 2006