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Numéro
J. Phys. IV France
Volume 138, December 2006
Page(s) 213 - 221
DOI http://dx.doi.org/10.1051/jp4:2006138024
Publié en ligne 6 janvier 2007
8e Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et X : Applications et développements récents
R. Moncorgé et J.L. Doualan
J. Phys. IV France 138 (2006) 213-221

DOI: 10.1051/jp4:2006138024

Ablation laser pour la microélectronique plastique

A.-P. Alloncle1, B. Thomas1, D. Grojo1, Ph. Delaporte1, M. Sentis1, S. Sanaur2, M. Barret2 and Ph. Collot2

1  LP3 - UMR 6182 CNRS, Université de la Méditerranée, Campus de Luminy, Case 917, 13288 Marseille Cedex 9, France
2  Centre de Microélectronique de Provence (CMP-GC), École des Mines de St. Étienne, Département Packaging et Supports Souples (PS2), 13541 Gardanne, France


(Publié en ligne le 6 janvier 2007)

Résumé
La microélectronique plastique connaît un développement sans précédent dans le domaine de la recherche. Cette étude s'intéresse à l'utilisation des lasers impulsionnels pour la réalisation de composants organiques sur supports souples. Les deux aspects plus particulièrement étudiés sont d'une part la gravure de polymère pour réaliser un canal entre la source et le drain, et d'autre part le développement d'un procédé de dépôt appelé LIFT pour Laser Induced Forward Transfer. Ce dernier pourrait notamment permettre de déposer des composés organiques non solubles.



© EDP Sciences 2006