Numéro
J. Phys. IV France
Volume 135, October 2006
Page(s) 339 - 341
DOI http://dx.doi.org/10.1051/jp4:2006135112
Publié en ligne 23 novembre 2006
Neuvième colloque sur les lasers et l'optique quantique
C. Chardonnet et G. Millot
J. Phys. IV France 135 (2006) 339-341

DOI: 10.1051/jp4:2006135112

Développement d'une méthode originale d'imagerie haute résolution en temps réel à travers un milieu absorbant : application aux circuits microélectroniques

I. Abbadi1, S. Dilhaire2, F. Salin1 and W. Claeys2

1  Équipe Lasers Femtosecondes, Developpement Optiques GOLF - CELIA
2  Équipe Caractérisation Optique de Composants et Systèmes Électroniques COX - CPMOH CELIA, Université de Bordeaux 1, 351 cours de la Libération, 33405 Talence, France
    e-mail: abbadi@celia.u-bordeaux1.fr


(Publié en ligne 23 novembre 2006)

Résumé
Nous proposons l'étude d'une méthode originale de formation d'image au travers des milieux diffusants ou fortement absorbants. Une mire de résolution est placée derrière un wafer de silicium de $600\,\mu $m d'épaisseur. Nous avons cherché à développer des outils optiques performants qui permettent une observation en profondeur et l'obtention d'images bidimensionnelles tomographiques. D'autres images de la partie active d'un circuit microélectronique en fonctionnement à travers le substrat de silicium ont été réalisées. Les images obtenues, ont une résolution spatiale latérale d'environ $12\,\mu $m à travers un wafer de $600\,\mu $m d'épaisseur.



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