Numéro
J. Phys. IV France
Volume 03, Numéro C7, Novembre 1993
The 3rd European Conference on Advanced Materials and Processes
Troisiéme Conférence Européenne sur les Matériaux et les Procédés Avancés
Page(s) C7-1211 - C7-1216
DOI http://dx.doi.org/10.1051/jp4:19937186
The 3rd European Conference on Advanced Materials and Processes
Troisiéme Conférence Européenne sur les Matériaux et les Procédés Avancés

J. Phys. IV France 03 (1993) C7-1211-C7-1216

DOI: 10.1051/jp4:19937186

Computer investigations of the influences of magnets for magnetron-sputtering

O. KNOTEK, F. LÖFFLER, U. SCHNAUT and W. GUAN

Institut für Werkstoffkunde (IWKB), Aachen University of Technology, Templergraben 55, 5100 Aachen, Germany

Without abstract




© EDP Sciences 1993
Première page de l'article