Numéro
J. Phys. IV France
Volume 01, Numéro C6, Décembre 1991
Beam Injection Assessment of Defects in Semiconductors
2nd International Workshop
Page(s) C6-237 - C6-238
DOI http://dx.doi.org/10.1051/jp4:1991637
Beam Injection Assessment of Defects in Semiconductors
2nd International Workshop

J. Phys. IV France 01 (1991) C6-237-C6-238

DOI: 10.1051/jp4:1991637

INFRARED LBIC SCAN MAPS APPLIED TO ALUMINIUM GETTERED MULTICRYSTALLINE SILICON WAFERS

J.Y. NATOLI, M. PASQUINELLI, F. FLORET and S. MARTINUZZI

Laboratoire de Photoélectricité des Semiconducteurs, Case 231, Faculté des Sciences et Techniques de Marseille, F-13397 Marseille Cedex 13, France

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© EDP Sciences 1991
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