Numéro
J. Phys. IV France
Volume 02, Numéro C2, Septembre 1991
Proceedings of the Eighth European Conference on Chemical Vapour Deposition / Actes de la 8ème Confèrence Européenne sur les Dépôts Chimiques en Phase Gazeuse
Page(s) C2-907 - C2-913
DOI http://dx.doi.org/10.1051/jp4:19912109
Proceedings of the Eighth European Conference on Chemical Vapour Deposition / Actes de la 8ème Confèrence Européenne sur les Dépôts Chimiques en Phase Gazeuse

J. Phys. IV France 02 (1991) C2-907-C2-913

DOI: 10.1051/jp4:19912109

DIAMOND CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION

P.K. BACHMANN, D. LEERS and D.U. WIECHERT

Philips Research Laboratories, CVD Technology Group, D-5100 Aachen, Germany


Abstract
Preparation, characterisation and selected applications of vapour deposited diamond coatings and free-standing membranes are reviewed. General trends and implications of a C/H/O-phase diagram, which provides a common basis for all diamond CVD methods are discussed.



© EDP Sciences 1991