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J. Phys. IV France 127 (2005) 145-149
DOI: 10.1051/jp4:2005127022
Enlèvement de particules par laser impulsionnel
D. Grojo, P. Delaporte and A. CrosLP3, UMR 6182 CNRS, Université de la Méditerranée, Case 917, 13288 Marseille Cedex 9, France
Résumé
L'enlèvement de particules par laser
impulsionnel (ns) est étudié expérimentalement. Des
efficacités supérieures à 90% sont obtenues pour
l'enlèvement de particules de polystyrene (PS) de diamètre 385 nm
sur des surfaces de Si et Cu. Les fluences seuils d'enlèvement sont
déterminées et comparées à une modélisation de
l'expansion thermique du substrat. L'interprétation est discutée en
terme de mécanismes fondamentaux envisageables responsables de
l'éjection des particules.
© EDP Sciences 2005