J. Phys. IV France 124 (2005) 159-163
DOI: 10.1051/jp4:2005124024b

Élaboration de couches minces YIG par pulvérisation cathodique RF pour la réalisation de composants hyperfréquences intégrés

T. Boudiar¹, C. Nader¹, Th. Rouiller¹, M. Le Berre², H. Joisten³, M.-F. Blanc-Mignon¹, B. Payet-Gervy¹, B. Bayard¹ and J.-J. Rousseau<sup>1

1</sup>  Laboratoire DIOM, Université Jean Monnet, Saint-Étienne, 23 rue du Docteur Paul Michelon, 42023 Saint-Étienne Cedex, France
²  LPM, UMR 5511, INSA Lyon, 7 Av. Jean Capelle, 69621 Villeurbanne Cedex, France
³  CEA-LETI, 17 rue des Martyrs, 38000 Grenoble Cedex, France

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© EDP Sciences 2005